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氦質(zhì)譜檢漏儀，EBARA真空泵，普發(fā)檢漏儀，普發(fā)真空泵，inficon，壓力控制器
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MKS系列產(chǎn)品
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MKS質(zhì)量流量計(jì)
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產(chǎn)品名稱/型號(hào)
產(chǎn)品簡(jiǎn)單介紹
MKS 質(zhì)量流量計(jì)
MKS 質(zhì)量流量計(jì)是采用感熱式測(cè)量，通過(guò)分體分子帶走的分子質(zhì)量多少?gòu)亩鴣?lái)測(cè)量流量，因?yàn)槭怯酶袩崾綔y(cè)量，所以不會(huì)因?yàn)闅怏w溫度、壓力的變化從而影響到測(cè)量的結(jié)果 。
DELTA //流量比例控制器
DELTA //流量比例控制器
Tru-Flo質(zhì)量流量檢驗(yàn)器
Tru-Flo質(zhì)量流量檢驗(yàn)器
以壓力為基礎(chǔ)的流量控制器
以壓力為基礎(chǔ)的流量控制器
MASS-FLO 系列橡膠密封質(zhì)量流量控制器
MASS-FLO系列橡膠密封質(zhì)量流量控制器
MF1系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器
通用數(shù)字質(zhì)量流量控制器。
General系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器
通用數(shù)字質(zhì)量流量控制器。 精度為設(shè)定值的正負(fù)1%，響應(yīng)速度快于500毫秒，不同氣體以及量程間自由切換。 Ethernet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬和數(shù)字（RS-485，DeviceNet，Profibus）通訊接口可選。
金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器
新一代多氣體/多量程數(shù)字質(zhì)量流量控制器。 實(shí)時(shí)高精度流量控制是基于先進(jìn)的數(shù)字算法技術(shù)，提供精度為設(shè)定值的正負(fù)1%，相應(yīng)速度快于500毫秒，不同氣體及量程間自由切換的優(yōu)異功能。 Ethernet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬和數(shù)字（RS-485，DeviceNet，Modbus/TCP)通訊接口可選。 ALTA 系列金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器。精度為設(shè)定值的正負(fù)1%，相應(yīng)速度快于1秒，不同氣體及量程間自由切換。各種模擬和數(shù)字（Profibus，DeviceNet）通訊接口可選。
產(chǎn)品目錄
真空設(shè)備研發(fā)制造
各類真空系統(tǒng)
各類CVD /PVD設(shè)備
普發(fā)真空系列產(chǎn)品
普發(fā)真空泵
普發(fā)檢漏儀
MKS系列產(chǎn)品
MKS質(zhì)量流量計(jì)
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MKS其他產(chǎn)品
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